和无人驾驶都要用的MEMS传感器

（1）MEMS的行业规模20世纪80年代至90年代，Honeywell利用大型刻蚀硅片结构和背蚀刻膜片制作了集成压力传感器。伴随着汽车行业的发展，MEMS行业迎来了第一次产业化浪潮。20世纪90年代末至21世纪初，手机、小家电等消费电子行业需求发展，带动了MEMS行业发展的第二次产业化浪潮。